2025年6月30日至7月13日集成电路技术系19位专任教师在芯火集成电路现代产业学院完成了一场以“车规级功率半导体+先进工艺制程”为主题的暑期“强芯”培训，交出了一份含金量十足的“充电”成绩单。

1、聚焦车规级功率半导体，强化实验操作能力

在车规级功率半导体实验室，参训教师系统学习了高温栅偏试验系统（HTGB）、高温反偏试验系统（HTRB-Tj）、高温高湿反偏试验系统（H3TRB）、高压高温高湿反偏试验系统（HV-H3TRB）、间歇寿命试验系统（IOL）、高性能K系数测试仪及静态参数测试仪等先进设备的原理与应用。通过理论讲解与实操演练，参训教师不仅深入理解了设备的工作原理，还熟练掌握了操作技能，为后续教学与科研工作奠定了坚实基础。

一、向车规级要真功：功率器件测试“全链条”打通

车规级功率半导体实验室里，教师们分组轮训，从高温栅偏试验系统（HTGB）、高温反偏试验系统（HTRB-Tj）、高温高湿反偏试验系统（H3TRB）、高压高温高湿反偏试验系统（HV-H3TRB）、间歇寿命试验系统（IOL），再到K系数与静态参数测试仪，7大测试系统“一条龙”实操。工程师拆解每一台设备的工作原理，用案例解析设备的实际操作流程，参训教师亲手完成设备的等效试验，实时记录测试数据并进行分析。老师们说“以前课堂只能讲概念，现在能把真实失效分析数据带进教室，后续教学与科研工作奠定了坚实基础。”

二、向工艺线要硬功：11站制程设备“全流程”实操

在集成电路工艺实验室，教师们经历了一次“mini FAB”虚拟之旅：接触/步进光刻双机联动，实现线宽对准；磁控溅射+电子束蒸发，完成AlCu/TiW多层金属叠层；等离子刻蚀+离子注入，亲手调通LDMOS源漏极掺杂；CVD、氧化炉、清洗/显影/匀胶台全线贯通；参训老师表示“通过系统学习与动手实践，实现了从理论到实践的跨越，有了教科书给不了的体感。”

此次培训不仅提升了教师的专业能力，也为学院深化产教融合、推动集成电路技术专业群发展注入了新动力。未来，集成电路技术系部将继续依托产业学院资源，开展更多高水平师资培训，助力集成电路领域人才培养与技术创新。